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河北凈化車間無塵廠房潔凈度等級對照-iso潔凈等級

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1-9級可能是參照的ISO的標準\國際標準,

一般我們所說的百級相當于ISO5級

萬級相當于ISO7級

十萬級相當于ISO8級

一百萬級相當于ISO9級

1,潔凈室或潔凈區內空氣懸浮粒子潔凈等級 還有著名的美國聯邦標準(Fed.St.209系列)可以參考;

2,ISO1644的ISO5相當于Fed.St.209系列的100級(≥0.5μm粒子,≤3.5顆/升,或100顆/ft3,或3530顆/m3

3,潔凈度等級在100級以下者(1000,10000級等)通常用0.5μm粒徑考核的居多;

4,隨著微電子技術的發展,潔凈度等級相應提高,潔凈室檢測粒徑也越來越小(見表),對粒子檢測儀器的要求當然也越來越高,對潔凈室設計和施工方而言,在驗收時,可能不止用一個粒徑(如0.5μm)而要用到更多的粒徑,如0.3 μm 0.2μm???甚至0.1μm對潔凈室進行檢測評定。

ISO 1644?國際標準中潔凈室或潔凈區選用的空氣懸浮粒子潔凈度等級

等于或大于相應粒徑的最大允許濃度(粒/m3
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm
ISO1 10 2
ISO2 100 24 10 4
ISO3 1000 237 102 35 8
ISO4 10000 2365 1018 352 83
ISO5 100000 23651 10176 3517 832 29
ISO6 1000000 236514 101763 35168 8318 293
ISO7 351676 83176 2925
ISO8 3516757 831764 29251
ISO9 35167572 8317638 292511